 |
|
¹ØÓÚ²©»ª |
 |
ɽ¶«²©»ªµç×ӿƼ¼·¢Õ¹ÓÐÏÞ¹«Ë¾ÓÉ×Ͳ©¸ßÐÂÇøMEMSÑо¿ÔºÍ¶×Ê×齨µÄ¹úÓпعɹ«Ë¾¡£ÒÔ¡°¾«ÃܲâÊÔ¼¼Êõ¼°ÒÇÆ÷¹ú¼ÒÖØµãʵÑéÊÒMEMS·ÖʵÑéÊÒ¡±¡¢
¡°Ç廪´óѧ΢Ã×ÄÉÃ×¼¼ÊõÑо¿ÖÐÐÄMEMS·ÖÖÐÐÄ¡±ºÍ¡°ÖÇÄÜ΢ϵͳ½ÌÓý²¿ÖصãʵÑéÊÒMEMS·ÖʵÑéÊÒ¡±Îª¼¼ÊõÒÀÍУ¬¼¯ÖÐÁ˹úÄÚרҵ´ÓÊÂMEMS¹¤Òպʹ«¸ÐÆ÷Éè¼ÆµÄר¼ÒÈ˲ţ¬×¨ÃÅ´ÓÊÂ΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷µÄÑз¢ºÍÉú²ú£¬ÊÇɽ¶«Ê¡µÚÒ»¼Ò²ÉÓÃMEMS¼¼ÊõÅúÁ¿Éú²ú΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷µÄÆóÒµ¡£Î¢ÏµÍ³²úÒµ´´ÐÂÔ°Õ¼µØ170Ķ£¬ÄâͶ×Ê10ÒÚÔª£¬¹æ»®½¨ÖþÃæ»ý12Íòƽ·½Ã×£¬°üÀ¨×ۺϷþÎñÂ¥¡£±ê×¼»¯³§·¿MEMSÖÐÊÔ´ú¹¤Æ½Ì¨µÈ²¿·Ö¡£Ô°ÇøÖصãÒý½ø¹úÄÚÍâMEMS´´ÒµÍŶӣ¬²úÆ·¹«Ë¾£¬·â×°²âÊÔ¹«Ë¾£¬ÖÂÁ¦´òÔ캸Ç΢»úµçϵͳÆ÷¼þÉè¼Æ£¬ÖÐÊÔ´ú¹¤£¬·â×°²âÊÔ£¬¹æÄ£Á¿²úµÄÈ«²úÒµÁ´µÄÒ»Á÷²úÒµÔ°Çø¡£ |
|
|
|